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氮氧比對AlOxNy薄膜結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能的影響
DOI:
作者:
作者單位:

北京有色金屬研究總院 能源材料與技術(shù)研究所,北京有色金屬研究總院 能源材料與技術(shù)研究所,北京有色金屬研究總院 能源材料與技術(shù)研究所,中國地質(zhì)大學(xué)北京 工程技術(shù)學(xué)院,北京有色金屬研究總院 能源材料與技術(shù)研究所

作者簡介:

通訊作者:

中圖分類號:

TQ603. 1

基金項目:

太陽能吸收膜及平板集熱器檢測技術(shù)研究(2015BAA02B04)


Effect of nitrogen–oxygen ratio on structure and optical properties of AlOxNy films
Author:
Affiliation:

Department of Energy Material and Technology,General Research Institute for Nonferrous Metals,Department of Energy Material and Technology,General Research Institute for Nonferrous Metals,Department of Energy Material and Technology,General Research Institute for Nonferrous Metals,,Department of Energy Material and Technology,General Research Institute for Nonferrous Metals

Fund Project:

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    摘要:

    本實驗以單晶硅(111)和載玻片為基體,采用離子束輔助沉積技術(shù)沉積AlOxNy薄膜,使用XPS、XRD和橢偏儀研究了氮氧比對AlOxNy薄膜的成分、相結(jié)構(gòu)和光學(xué)常數(shù)的影響。結(jié)果表明,隨著氮氧比減小,薄膜中氮含量減小,氧含量增加；薄膜由非晶態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榻Y(jié)晶態(tài),結(jié)晶相為AlON。沉積薄膜的消光系數(shù)為零,呈現(xiàn)電介質(zhì)特性。隨著氮氧比減小,沉積薄膜的折射率減小。

    Abstract:

    The effect of nitrogen–oxygen ratio on composition, micro–structure and optical properties of AlOxNy films deposited by ion beam assisted deposition (IBAD) was investigated by using XPS, XRD and spectroscopic ellipsometry. As the ratio of nitrogen to oxygen decreases, the content of nitrogen in the films decreases, whereas, the content of oxygen in the films increases; at the same time, the amorphous phase in the films transfer to AlON phase. The zero value for extinction coefficient of the films indicates the deposited films are dielectric materials. And the refractive index of films within the whole wavelength range decreases with decreasing the ratio of nitrogen to oxygen.

    參考文獻(xiàn)
    相似文獻(xiàn)
    引證文獻(xiàn)
引用本文

孟建平,杜淼,劉曉鵬,付志強(qiáng),郝雷.氮氧比對AlOxNy薄膜結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能的影響[J].稀有金屬材料與工程,2018,47(3):972~975.[Jian–ping Meng, Miao Du, Xiao–peng Liu, Zhi–qiang Fu, Lei Hao. Effect of nitrogen–oxygen ratio on structure and optical properties of AlOxNy films[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2018,47(3):972~975.]
DOI：[doi]

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歷史
  • 收稿日期:2016-01-15
  • 最后修改日期:2016-05-24
  • 錄用日期:2016-06-12
  • 在線發(fā)布日期: 2018-04-11
  • 出版日期: