3(STO)緩沖層過(guò)程中前驅(qū)液熱分解行為以及薄膜制備工藝路線對(duì)薄膜外延生長(zhǎng)的影響,通過(guò)選取恰當(dāng)?shù)那膀?qū)液以及引入籽晶層沉積的方法最終獲得了具有良好c軸織構(gòu)且表面光滑的STO薄膜。"/>
西北有色金屬研究院,西北有色金屬研究院,西北有色金屬研究院,西北有色金屬研究院,西北有色金屬研究院,西北有色金屬研究院,西北有色金屬研究院
國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51302225和51202201);陜西省西安市未央?yún)^(qū)科技計(jì)劃項(xiàng)目(201412)和陜西省自然科學(xué)基金青年人才項(xiàng)目(2014JQ6202)。
Northwest Institute for Nonferrous Metal Research,,,,,,
王耀,李成山,馮建情,于澤銘,金利華,王輝,張平祥*.織構(gòu)金屬襯底上CSD-SrTiO3薄膜的制備[J].稀有金屬材料與工程,2017,46(9):2679~2683.[Y. Wang, C. S. Li, J. Q. Feng, Z. M. Yu, L. H. Jin, H. Wang, P. X. Zhang*. Fabrication of CSD-SrTiO3 thin film on textured metallic substrate[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2017,46(9):2679~2683.]
DOI:[doi]