2) 薄膜,相變幅度超過2個量級,利用快速熱處理設(shè)備對VO2薄膜進(jìn)行熱處理,研究氮氣氛下快速熱處理溫度對VO2相變特性的影響。通過x射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、高精度透射電子顯微鏡和四探針測試儀對熱處理前后薄膜的結(jié)晶結(jié)構(gòu)、表面形貌和電學(xué)相變特性分別進(jìn)行了測試。實驗結(jié)果表明,快速熱處理狀態(tài)下,溫度為300℃時,VO2薄膜的電阻相變幅度由200倍增加到277倍,但是當(dāng)溫度超過350℃后,相變性能迅速變差,相變幅度由2個量級降低為小于1個量級,當(dāng)溫度超過500 ℃時,相變特性消失;溫度升高的過程中,單斜VO2(011)結(jié)晶結(jié)構(gòu)逐漸消失,薄膜的成分轉(zhuǎn)變?yōu)閂4O7;快速熱處理過程中薄膜內(nèi)的顆粒尺寸保持不變。研究結(jié)果將有助于增強對VO2薄膜在溫度差異大、變化速度快環(huán)境中的特性進(jìn)行分析與應(yīng)用。"/>
天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院,天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院,天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院,天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院,電子信息工程學(xué)院,天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院
O484
國家自然科學(xué)基金資助(項目號61471264,61101055)
School of Electronic Information Engineering,Tianjin University,School of Electronic Information Engineering,Tianjin University,School of Electronic Information Engineering,Tianjin University,School of Electronic Information Engineering,Tianjin University,School of Electronic Information Engineering,Tianjin University,School of Electronic Information Engineering,Tianjin University
梁繼然,李景鵬,侯露輝,李娜,劉星,胡明.快速熱處理溫度對納米結(jié)構(gòu)二氧化釩薄膜相變特性的影響[J].稀有金屬材料與工程,2017,46(8):2197~2202.[Liang Jiran, Li Jingpeng, Hou Luhui, Li Na, Liu Xing, Hu Ming. Effects of Rapid Thermal Annealing Temperature on Phase Transition Properties of Nanostructure Vanadium Dioxide Thin Film[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2017,46(8):2197~2202.]
DOI:[doi]