西安理工大學材料科學與工程學院,南京工業(yè)大學材料科學與工程學院,西安理工大學材料科學與工程學院,西安理工大學材料科學與工程學院
國家自然科學基金資助(項目號51271144)
Xi’an University of Technology,Xi’an,Nanjing Tech University,Xi’an University of Technology,Xi’an,Xi’an University of Technology,Xi’an
楊超,蔣百靈,郝娟,馮林.氣體放電伏安特性對TiN薄膜結構和性能的影響[J].稀有金屬材料與工程,2017,46(5):1419~1424.[Yang Chao, Jiang Bailing, Hao Juan, Feng Lin. Influence of volt-ampere characteristics of gas discharge on structure and properties of TiN films[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2017,46(5):1419~1424.]
DOI:[doi]