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雙靶共濺射TiB2/Al復(fù)合薄膜的結(jié)構(gòu)特征與
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國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃 (2012CB619601)；國家自然科學基金 (51371118)；上海市大學生創(chuàng)新活動計劃（2012scx70）


Microstructure and Mechanical Properties of TiB2/Al Composite Films Prepared by Co-sputtering
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    摘要:

    為研究高分散陶瓷對金屬薄膜的強化作用，通過Al和TiB2靶磁控共濺射方法制備了不同TiB2含量的鋁基復(fù)合薄膜，采用X射線能量分散譜儀、X射線衍射儀、透射電子顯微鏡、掃描透射電子顯微鏡和微力學探針表征了薄膜的微結(jié)構(gòu)和力學性能。結(jié)果表明：在濺射粒子的高分散性和薄膜生長的非平衡性共同作用下，TiB2靶的濺射粒子被超過飽和地固溶于Al的晶格中，復(fù)合薄膜形成的固溶體兼具了置換和間隙2種固溶類型特征。在這種置換和間隙“雙超過飽和固溶”的作用下，鋁固溶體的晶格產(chǎn)生劇烈畸變，復(fù)合薄膜的晶粒在很低的溶質(zhì)含量下就迅速納米化，并在晶界區(qū)域形成溶質(zhì)的富集區(qū)。隨溶質(zhì)含量的增加，晶界的寬化使復(fù)合薄膜逐步形成了極細納米晶分布于非晶基體中的結(jié)構(gòu)。與此相應(yīng)，薄膜的硬度迅速提高并在含5.8%TiB2時達到6.9 GPa的最高值，進一步提高TiB2的含量，復(fù)合薄膜因逐漸非晶態(tài)而呈現(xiàn)硬度的降低。研究結(jié)果顯示了高分散TiB2的超過飽和固溶對鋁基薄膜顯著的晶粒納米化作用和強化效果

    Abstract:

    In order to investigate the strengthening effect of highly dispersed ceramics on metal films, TiB2/Al composite films with different TiB2 contents were prepared by magnetron co-sputtering with Al and TiB2 targets. The

    參考文獻
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    引證文獻
引用本文

尚海龍,李 濤,李榮斌,郭西振,張新馨,李戈揚.雙靶共濺射TiB2/Al復(fù)合薄膜的結(jié)構(gòu)特征與[J].稀有金屬材料與工程,2015,44(2):370~374.[Shang Hailong, Li Tao, Li Rongbin, Guo Xizhen, Zhang Xinxin, Li Geyang. Microstructure and Mechanical Properties of TiB2/Al Composite Films Prepared by Co-sputtering[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2015,44(2):370~374.]
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歷史
  • 收稿日期:2014-01-15
  • 最后修改日期:
  • 錄用日期:
  • 在線發(fā)布日期: 2015-05-29
  • 出版日期: