最新色国产精品精品视频,中文字幕日韩一区二区不卡,亚洲有码转帖,夜夜躁日日躁狠狠久久av,中国凸偷窥xxxx自由视频

+高級檢索
TaMoN復(fù)合膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能與摩擦性能
DOI:
作者:
作者單位:

作者簡介:

通訊作者:

中圖分類號:

基金項目:

國家自然科學(xué)基金（51074080）


Microstructures, Mechanical and Friction Properties of TaMoN Composite Films
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
    • |
  • 圖/表
    • |
  • 訪問統(tǒng)計
    • |
  • 參考文獻
    • |
  • 相似文獻
    • |
  • 引證文獻
    • |
  • 資源附件
    • |
  • 文章評論
    摘要:

    采用多靶磁控濺射技術(shù)，根據(jù)不同Mo靶功率制備一系列不同Mo含量的TaMoN復(fù)合膜。利用X射線衍射儀、納米壓痕儀、高溫摩擦磨損儀、掃描電子顯微鏡及其配套的能譜儀研究復(fù)合膜的相組成、力學(xué)性能、室溫和高溫下的摩擦性能。結(jié)果表明，TaMoN復(fù)合膜的微結(jié)構(gòu)是由面心立方、密排六方與底心斜方組成的多相結(jié)構(gòu)；TaMoN復(fù)合膜的硬度比TaN單層膜的硬度高，且隨著Mo含量的增加先升高后降低，在Mo含量為52.68 at%時達到最大值，為33.9 GPa；Mo元素的添加可以有效改善TaN薄膜在常溫和高溫下的摩擦性能，通過對磨痕的分析，詳細解釋了TaMoN復(fù)合膜具有優(yōu)異的減摩性能的原因。

    Abstract:

    A series of TaMoN composite films with different Mo contents were fabricated by a magnetron sputtering technique. The microstructures, morphology, phase composition, mechanical and friction properties of the films were investigated by X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) and equipped EDS, nano-indentation, and CSM high-temperature ball-on-disc tribo-meter. The results show that the microstructure of TaMoN composite films is a poly-phase structure consisting of cubic, hexagonal and orthorhombic structure by adding Mo element to TaN film. The hardness of TaMoN composite film is higher than that of TaN monolayer film due to the solid solution strengthening. The friction coefficients of TaMoN films at room and high temperatures are lower than that of TaN film, and the reasons were analyzed based on the morphology and wear tracks formed at different temperatures.

    參考文獻
    相似文獻
    引證文獻
引用本文

許俊華,薛雅平,曹 峻,喻利花. TaMoN復(fù)合膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能與摩擦性能[J].稀有金屬材料與工程,2014,43(6):1412~1416.[Xu Junhua, Xue Yaping, Cao Jun, Yu Lihua. Microstructures, Mechanical and Friction Properties of TaMoN Composite Films[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2014,43(6):1412~1416.]
DOI：[doi]

復(fù)制
文章指標(biāo)
  • 點擊次數(shù):
  • 下載次數(shù):
  • HTML閱讀次數(shù):
  • 引用次數(shù):
歷史
  • 收稿日期:2013-06-05
  • 最后修改日期:
  • 錄用日期:
  • 在線發(fā)布日期: 2014-11-13
  • 出版日期: