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鈀-鉑雙層覆膜聚酰亞胺的CECVD制備與表征
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O433.4 O614.82

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國(guó)家自然科學(xué)基金


Preparation and Characterization of Palladium-Platinum Bilayer Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced CVD
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    摘要:

    以N2、O2作載氣,采用催化增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(CECVO)法,于250～300℃和減壓/常壓下制得沉積于聚酰亞胺(PI)上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金屬雙層薄膜.當(dāng)使用Pd(hfac)2和Pt(COD)Me2為前驅(qū)體,在同一反應(yīng)器內(nèi)共沉積時(shí)只有Pt被沉積(鈀配合物起催化劑作用),金屬鉑、鈀順序沉積可形成雙層膜.經(jīng)XPS和SEM分析了所得沉積膜的表面結(jié)構(gòu)與相組成.結(jié)果表明:所有沉積層與PI襯底的粘附性能良好;沉積速率為70～80nm/h,鈀、鉑粒徑分別為100nm和100～150nm.

    Abstract:

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引用本文

鄭建華,馮文芳,周錦蘭,田熙科,俞開(kāi)潮.鈀-鉑雙層覆膜聚酰亞胺的CECVD制備與表征[J].稀有金屬材料與工程,2008,37(5):918~921.[Zheng Jianhua, Feng Wenfang, Zhou Jinlan, Tian Xike, Yu Kaichao. Preparation and Characterization of Palladium-Platinum Bilayer Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced CVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2008,37(5):918~921.]
DOI：[doi]

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