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壓強(qiáng)對磁控濺射沉積鈮膜耐磨和耐蝕性的影響
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TG146

基金項目:

國家自然科學(xué)基金 , 教育部跨世紀(jì)優(yōu)秀人才培養(yǎng)計劃


Effect of Sputtering Gas Pressure on Wear Resistance and Corrosion Resistance of Niobium Films Prepared by Magnetron Sputtering Deposition
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    摘要:

    采用直流磁控濺射在鋼基體上制備了鈮薄膜,分別采用掃描電鏡、原子力顯微鏡、X射線衍射儀、球盤式摩擦磨損實驗機(jī)和電化學(xué)分析儀研究了不同濺射氣壓下鈮膜表面形貌、相結(jié)構(gòu)、耐磨性以及耐蝕性.結(jié)果表明:低壓強(qiáng)下,晶粒細(xì)小,膜層平滑,晶粒擇優(yōu)取向為(110)晶面;壓強(qiáng)升高使得晶粒粗大,粗糙度明顯提高,擇優(yōu)取向轉(zhuǎn)變?yōu)?211)晶面.較高的和較低的濺射壓強(qiáng)對耐磨性和耐蝕性的提高較大,適中的壓強(qiáng)對鈮膜的性能提高反而較小,這可能是由于表面缺陷和組織結(jié)構(gòu)的不同造成的.

    Abstract:

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引用本文

崔江濤,田修波,胡新東,楊士勤.壓強(qiáng)對磁控濺射沉積鈮膜耐磨和耐蝕性的影響[J].稀有金屬材料與工程,2008,37(1):143~146.[Cui Jiangtao, Tian Xiubo, Hu Xindong, Yang Shiqin. Effect of Sputtering Gas Pressure on Wear Resistance and Corrosion Resistance of Niobium Films Prepared by Magnetron Sputtering Deposition[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2008,37(1):143~146.]
DOI:[doi]

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歷史
  • 收稿日期:2007-01-25
  • 最后修改日期:2007-01-25
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  • 出版日期: