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對采用電子束物理氣相沉積（EB-PVD）技術(shù)制備Ni基高溫合金薄板800℃真空保溫過程中微觀組織結(jié)構(gòu)與硬度進(jìn)行了研究。結(jié)果表明：制備態(tài)NiCrCoAl合金組織為γ-Ni固溶體，組織均勻細(xì)化、無沉淀析出相、無位錯，存在孿晶，晶粒中出現(xiàn)大量應(yīng)變條紋：在熱處理態(tài)800℃，5×10^-3Pa真空保溫過程中，合金組織相結(jié)構(gòu)未發(fā)生變化，合金的平面和截面組織呈現(xiàn)層片狀結(jié)構(gòu)，存在大量亞結(jié)構(gòu)缺陷——孿晶、少量位錯，在800℃保溫16h，有少量碳化物沉淀析出物；隨著合金保溫時間的延長，應(yīng)變條紋隨之消除，沿（220）晶面的晶粒擇優(yōu)取向迅速長大。同時，顯微硬度隨之降低。