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Au／NiCr／Ta薄膜生長的表面能和晶界能作用
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O484.1

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國家自然科學基金項目資助（50601005）


Interaction of Surface Energy and Grain Boundary Energy during the Growth of Au/NiCr/Ta Film
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    用原子力顯微鏡（AFM）研究了Al2O3基體上磁控濺射Au／NiCr／Ta薄膜的表面生長形貌以及表面粗糙度，并根據(jù)不同的沉積溫度探討了薄膜表面粗糙化機制，從能量角度分析了薄膜晶粒生長的表面能和晶界能交互作用效果。結(jié)果表明：磁控濺射的金屬薄膜呈現(xiàn)柱狀晶生長，隨著沉積溫度的升高，薄膜表面發(fā)生粗糙→光滑→粗糙的變化過程，表面能和晶界能的交互作用效果是導致薄膜表面粗糙度變化的根本原因。

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引用本文

唐武 鄧龍江 徐可為. Au／NiCr／Ta薄膜生長的表面能和晶界能作用[J].稀有金屬材料與工程,2007,36(7):1185~1188.[Tang Wu, Deng Longjiang, Xu Kewei. Interaction of Surface Energy and Grain Boundary Energy during the Growth of Au/NiCr/Ta Film[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(7):1185~1188.]
DOI：[doi]

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