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部分熔融Ce-Fe合金低溫快速拋光CVD金剛石膜
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O613

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Diamond Films by CVD and High Rate Polishing at Low Temperature with Partially Molten Ce-Fe Alloy
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    摘要:

    采用溶碳活性很高的稀土金屬Ce和過渡金屬Fe熔煉出Ce-7％Fe（原子分?jǐn)?shù)，下同）合金，利用該合金對CVD金剛石膜進(jìn)行熱化學(xué)拋光。結(jié)果表明：Ce-7％Fe合金在592℃就可以拋光金剛石膜，比報道的稀土拋光溫度要低200℃以上；在680℃拋光3h表面粗糙度Ra值由原來的5．95μm降低到0．69μm，拋光效率高達(dá)30μm／h；SEM觀察表明，拋光使膜的表面光潔度有明顯提高；經(jīng)拉曼光譜檢測，拋光沒有對金剛石膜造成任何污染。

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引用本文

李俊杰 王樹彬 孫玉靜 田蒔 張躍.部分熔融Ce-Fe合金低溫快速拋光CVD金剛石膜[J].稀有金屬材料與工程,2007,36(5):933~936.[Li Junjie, Wang Shubin, Sun Yujing, Tian Shi, Zhang Yue. Diamond Films by CVD and High Rate Polishing at Low Temperature with Partially Molten Ce-Fe Alloy[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(5):933~936.]
DOI：[doi]

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  • 最后修改日期:2006-05-29
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