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柔性襯底ITO透明導(dǎo)電薄膜的光電性能研究
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TG174.444

基金項目:

國家自然科學基金重點項目（90305026）及中國工程物理研究院雙百人才基金（2005R0504）資助.


Study on Electrical and Optical Properties of Flexible Transparent Conductive ITO Film
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    利用直流磁控濺射方法在柔性聚酯薄膜襯底上制備了氧化銦錫（ITO）透明導(dǎo)電薄膜，采用X射線衍射、紫外．可見分光光度計、四探針電阻測量儀等測試手段對薄膜樣品進行表征，研究了氧含量、薄膜厚度、村底負偏壓對ITO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)和光電性能的影響，優(yōu)化了柔性襯底ITO薄膜的制備工藝條件。制得樣品的最佳可見光平均透過率為85．6％，方塊電阻為6Ω／口。

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引用本文

孫裔 刁訓(xùn)剛 楊盟 武哲 舒遠杰.柔性襯底ITO透明導(dǎo)電薄膜的光電性能研究[J].稀有金屬材料與工程,2007,36(1):86~90.[Sun Yi, Diao Xungang, Yang Meng, Wu Zhe, Shu Yuanjie. Study on Electrical and Optical Properties of Flexible Transparent Conductive ITO Film[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(1):86~90.]
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  • 最后修改日期:2006-01-11
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