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溫度對AZ91D鎂合金表面弧輝等離子沉積TiN薄膜的影響
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TG146.4

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山西省自然科學(xué)基金(20041065)


Effect of Temperature on the TiN Film Deposited on AZ91D Magnesium Alloy by Arc-Glow Depositing Technique
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    摘要:

    采用弧輝等離子沉積工藝在鎂合金AZ91表面涂覆了TiN薄膜。研究了沉積溫度對膜層的厚度、結(jié)合力及硬度的影響。用掃描電鏡（SEM）、X射線衍射（XRD）和輝光放電光潛（GDS）分析了涂層的成分和微觀結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明，隨著控制溫度的升高，膜層厚度呈緩慢增加的趨勢，但溫度過高或過低結(jié)合力明顯下降，以160～180℃最佳。180℃時的硬度HK0.01最高，達14630MPa。

    Abstract:

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    引證文獻
引用本文

繆強,崔彩娥,潘俊德,張平則,段良輝,劉亞萍.溫度對AZ91D鎂合金表面弧輝等離子沉積TiN薄膜的影響[J].稀有金屬材料與工程,2007,36(11):2036~2040.[. Effect of Temperature on the TiN Film Deposited on AZ91D Magnesium Alloy by Arc-Glow Depositing Technique[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(11):2036~2040.]
DOI：[doi]

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  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2006-12-31
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