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提出利用紅外熱像實時監(jiān)測系統(tǒng)，實時獲得在YBCO高溫超導薄膜上H3PO4腐蝕淺液層的紅外灰度數(shù)值分布，并以淺液層熱交換簡化模型為基礎，通過歸一化紅外灰度標準差值表征YBCO高溫超導薄膜表面粗糙度的變化。理論分析與實驗結果均表明，由歸一化紅外灰度標準差值的變化曲線，可以清楚展現(xiàn)YBCO高溫超導薄膜表面粗糙度增大、減小以及趨于平緩的3個階段，并能直接獲得每個階段所對應的時間。在本實驗條件下，表面粗糙度在8s時達到最大值，然后逐漸下降，到40s時開始趨于穩(wěn)定。淺液層條件下的YBCO高溫超導薄膜表面粗糙度的成功觀測，是一個重要的階段目標，為最終解決YBCO高溫超導薄膜濕法刻蝕中粗糙度的實時監(jiān)測難題奠定了良好基礎。