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定向沉積法對(duì)Nd2Fe14B薄膜形態(tài)和磁性能的影響
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中圖分類(lèi)號(hào):

TG146.4

基金項(xiàng)目:

江蘇省教育廳高?？茖W(xué)研究項(xiàng)目（03KJD430067）


Influence of Oriented Deposition on Thin Film Morphology and Magnetic Properties of NdFeB
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    摘要:

    采用直流勵(lì)磁磁控濺射法制備N(xiāo)dFeB稀土永磁薄膜.研究分析了襯底預(yù)熱與定向沉積法對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)和磁性能的影響.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：定向沉積技術(shù)制備出的NdFeB薄膜表面形成單一方向的柱狀晶,該柱狀晶生長(zhǎng)方向垂直于薄膜表面,使薄膜具有良好的磁各向異性,薄膜矯頑力大大提高,H⊥/H∥比值改善.在預(yù)熱溫度200℃逐漸加熱到500℃并保溫10 min時(shí),薄膜磁性能最佳.

    Abstract:

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引用本文

傅明喜 宗華 李巖 查燕清.定向沉積法對(duì)Nd2Fe14B薄膜形態(tài)和磁性能的影響[J].稀有金屬材料與工程,2006,35(7):1109~1112.[Fu Mingxi, Zong Hua, Li Yan, Zha Yanqing. Influence of Oriented Deposition on Thin Film Morphology and Magnetic Properties of NdFeB[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(7):1109~1112.]
DOI：[doi]

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歷史
  • 收稿日期:2005-05-17
  • 最后修改日期:2006-04-10
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