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HfO2膜料中的雜質(zhì)對(duì)薄膜損傷及性能的影響
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中圖分類號(hào):

TG146.4

基金項(xiàng)目:

致謝：感謝北京有色金屬研究總院王星明高級(jí)工程師為作者提供了參觀Hf02膜料制備工藝的機(jī)會(huì),并感謝對(duì)Hf02膜料制備過程中可能引入雜質(zhì)的有益探討.


Effects of Impurities on the Damage and Property for HfO2 Coating Material
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    摘要:

    通過對(duì)HfO2膜料中雜質(zhì)元素的分析，找出了影響薄膜性能的主要雜質(zhì)元素。結(jié)果表明：金屬元素、吸收性介質(zhì)元素的存在對(duì)薄膜的損毀有很大負(fù)面影響；在紫外波段，Zr元素含量大的薄膜吸收較大；并且提出負(fù)離子元素在膜料蒸發(fā)過程中形成氣源中心，產(chǎn)生噴濺，從而使薄膜的損傷閾值降低。

    Abstract:

    By analysis of impurity elements in HfO2 coating material, the influence of main impurity elements on the characteristic of coatings were studied. The results indicate that the metal elements and absorptive dielectric elements damage the HfO2 coatings. The more the Zr element content is, source center and form an the more the absorption is for the coatings in ultraviolet wave. The negative ion element will become the gas ejection in the process of evaporation of coating material, so decrease the damage threshold of the coatings.

    參考文獻(xiàn)
    相似文獻(xiàn)
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引用本文

吳師崗 邵建達(dá) 易葵 趙元安 范正修. HfO2膜料中的雜質(zhì)對(duì)薄膜損傷及性能的影響[J].稀有金屬材料與工程,2006,35(5):757~760.[Wu Shigang, Shao Jianda, Yi Kui, Zhao Yuanan, Fan Zhengxiu. Effects of Impurities on the Damage and Property for HfO2 Coating Material[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(5):757~760.]
DOI：[doi]

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歷史
  • 收稿日期:2005-04-22
  • 最后修改日期:2005-04-22
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  • 出版日期: