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采用直流磁控濺射法制備了Co1_(-x)Pt_x合金薄膜,并詳細研究了其結構和磁學性能隨x變化的規(guī)律。通過XRD結構分析可知:濺射態(tài)的薄膜當x≤28%時,為hcp結構;x=35%和40%時,為hcp和fcc的混合結構;x≥46%以后,為fcc結構。VSM測試結果表明:隨x的增大,濺射態(tài)薄膜的矯頑力先增大后減小,當x=23%時,矯頑力達到最大值2147×79.6A/m,在x=46%處矯頑力急劇下降至100×79.6A/m左右,x>46%以后,矯頑力隨x的增大不再明顯變化。退火后,hcp結構的薄膜矯頑力基本不變,而接近等原子比的fcc結構的CoPt薄膜,由于部分轉變?yōu)閒ct結構,矯頑力有很大提高;fcc結構的CoPt3薄膜矯頑力有所增大,但是增大不多。