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HF-PCVD法TiO2納米晶的粒徑與晶型控制
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TQ134.11 O614.41

基金項目:

國家自然科學(xué)基金資助(29776032);山西省科技攻關(guān)項目(202092)


Control of Particle Size and Crystal Phase of TiO2 Nanocrystalline Prepared by HF-PCVD
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    以TiCl4和O2為反應(yīng)體系，采用高頻等離子化學(xué)氣相沉積(HF-PCVD)法制備了晶化完整的銳鈦和金紅石混晶型TiO2納米晶，球形體的晶粒分散性良好，分布較為均勻：研究了控制粒徑大小和晶相組成的關(guān)鍵反應(yīng)條件。XPS，TEM，XRD結(jié)果顯示：增加TiCl4進料量、延長停留時間均利于銳鈦相向金紅石相轉(zhuǎn)化，但粒徑有所增大：添加A1C13使金紅石相含量較未摻雜時有較大幅度提高，且粒徑隨摻鋁量增加而減小。本實驗條件下，TiO2納米晶的粒徑為25nm～60nm，金紅石相含量在12．O％～53．6％間可控。

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引用本文

徐海萍 孫彥平 王俊文 展紅全 陳新謀. HF-PCVD法TiO2納米晶的粒徑與晶型控制[J].稀有金屬材料與工程,2005,34(7):1089~1093.[Xu Haiping, Sun Yanping, Wang Junwen, Zhan Hongquan, Chen Xinmou. Control of Particle Size and Crystal Phase of TiO2 Nanocrystalline Prepared by HF-PCVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(7):1089~1093.]
DOI：[doi]

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歷史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2003-12-31
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