最新色国产精品精品视频,中文字幕日韩一区二区不卡,亚洲有码转帖,夜夜躁日日躁狠狠久久av,中国凸偷窥xxxx自由视频

+高級(jí)檢索
Zr-Si-N擴(kuò)散阻擋層及其熱穩(wěn)定性的研究
DOI:
作者:
作者單位:

作者簡介:

通訊作者:

中圖分類號(hào):

TG146.4

基金項(xiàng)目:

國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(59931010)和教育部骨干教師計(jì)劃項(xiàng)目資助


The Study of Zr-Si-N Diffusion Barrier and Its Thermal Stability
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
    • |
  • 圖/表
    • |
  • 訪問統(tǒng)計(jì)
    • |
  • 參考文獻(xiàn)
    • |
  • 相似文獻(xiàn)
    • |
  • 引證文獻(xiàn)
    • |
  • 資源附件
    • |
  • 文章評(píng)論
    摘要:

    用反應(yīng)磁控濺射法在不同偏壓下沉積了Zr-Si-N擴(kuò)散阻擋層,結(jié)果表明:Zr-Si-N膜的Si含量、電阻率隨偏壓的升高而降低;Zr-Si-N膜的晶體相隨濺射偏壓的升高而增加;Zr-Si-N擴(kuò)散阻擋層的熱穩(wěn)定性高,在850℃時(shí)仍能有效阻擋Cu的擴(kuò)散.

    Abstract:

    Zr-Si-N diffusion barrier films were deposited by reactive magnetron sputtering with different negative bias. The results reveal that the Si content and resistivity of the Zr-Si-N films decrease as negative bias increases. The crystalline phase increases with the increase of negative bias. The thermal stability of Zr-Si-N diffusion barrier was so good that Zr-Si-N diffusion barrier can effectively prevent from the diffusion of Cu.

    參考文獻(xiàn)
    相似文獻(xiàn)
    引證文獻(xiàn)
引用本文

宋忠孝 丁黎 徐可為 陳華. Zr-Si-N擴(kuò)散阻擋層及其熱穩(wěn)定性的研究[J].稀有金屬材料與工程,2005,34(3):459~462.[Song Zhongxiao, Ding Li, Xu Kewei, Cheng Hua. The Study of Zr-Si-N Diffusion Barrier and Its Thermal Stability[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(3):459~462.]
DOI：[doi]

復(fù)制
文章指標(biāo)
  • 點(diǎn)擊次數(shù):
  • 下載次數(shù):
  • HTML閱讀次數(shù):
  • 引用次數(shù):
歷史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2003-08-25
  • 錄用日期:
  • 在線發(fā)布日期:
  • 出版日期: