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爆炸壓實(shí)燒結(jié)ITO陶瓷靶材的實(shí)驗(yàn)研究
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中圖分類號(hào):

TF124 TN304.21

基金項(xiàng)目:

國(guó)家自然科學(xué)基金(10172025)，遼寧省自然科學(xué)基金(2001101075)資助


Experi Experimental Investigation on ITO Ceramic Target by Using Exploring-Compression Nano-Powder and Sinter Technique
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    摘要:

    通過(guò)爆炸壓實(shí)燒結(jié)納米ITO粉末制備了ITO陶瓷靶材，結(jié)果表明爆炸沖擊壓實(shí)在靶材的后續(xù)燒結(jié)密實(shí)過(guò)程中起到了促進(jìn)作用，它與常規(guī)的加壓燒結(jié)相比，具有操作簡(jiǎn)單，設(shè)備要求低等很多優(yōu)點(diǎn)。經(jīng)過(guò)爆炸壓實(shí)的燒結(jié)靶材具有細(xì)小的晶體顆粒，比商業(yè)靶材的晶粒度小約1個(gè)數(shù)量級(jí)。

    Abstract:

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引用本文

李曉杰 張?jiān)脚e.爆炸壓實(shí)燒結(jié)ITO陶瓷靶材的實(shí)驗(yàn)研究[J].稀有金屬材料與工程,2005,34(3):417~420.[Li Xiaojie, Zhang Yueju. Experi Experimental Investigation on ITO Ceramic Target by Using Exploring-Compression Nano-Powder and Sinter Technique[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(3):417~420.]
DOI：[doi]

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歷史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2003-07-14
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