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在納米壓入儀上進(jìn)行懸臂梁法測(cè)量彈性模量的影響因素分析
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中圖分類號(hào):

TG115.5

基金項(xiàng)目:

國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展規(guī)劃項(xiàng)目（G1999033103）


Analysis of the Influence Factors on the Measurement of Elastic Modulus Using the Microcantilever Deflection on a Nanoindenter
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    摘要:

    對(duì)在納米壓入儀上進(jìn)行懸臂梁法測(cè)量彈性模量的主要影響因素進(jìn)行了綜合分析,主要包括加載系統(tǒng)懸置彈簧剛度、壓頭壓入、梁沿截面寬度方向撓曲、梁支座附加撓曲等影響。在考慮這些因素的基礎(chǔ)上,得到了懸臂梁的有效撓度,利用有效撓度與載荷之間的關(guān)系,評(píng)價(jià)懸臂梁材料的彈性模量。對(duì)單晶硅(100)懸臂梁試樣進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),得到其彈性模量為155GPa±9.5%GPa,與參考文獻(xiàn)值符合較好。表明在納米壓入儀上進(jìn)行懸臂梁法測(cè)量,只有綜合這些影響因素后,才能獲得有效、準(zhǔn)確的彈性模量測(cè)量結(jié)果。

    Abstract:

    參考文獻(xiàn)
    相似文獻(xiàn)
    引證文獻(xiàn)
引用本文

朱強(qiáng),蔣莊德,趙則祥,王海容,楊樹(shù)明.在納米壓入儀上進(jìn)行懸臂梁法測(cè)量彈性模量的影響因素分析[J].稀有金屬材料與工程,2005,34(11):1842~1845.[Zhu Qiang, Jiang Zhuangde, Zhao Zexiang, Wang Hairong, Yang Shuming. Analysis of the Influence Factors on the Measurement of Elastic Modulus Using the Microcantilever Deflection on a Nanoindenter[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(11):1842~1845.]
DOI：[doi]

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歷史
  • 收稿日期:2004-07-21
  • 最后修改日期:2004-11-15
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  • 出版日期: