最新色国产精品精品视频,中文字幕日韩一区二区不卡,亚洲有码转帖,夜夜躁日日躁狠狠久久av,中国凸偷窥xxxx自由视频

+高級(jí)檢索
Ti-Si-N納米復(fù)合薄膜的結(jié)構(gòu)與性能
DOI:
作者:
作者單位:

作者簡(jiǎn)介:

通訊作者:

中圖分類號(hào):

TG174.44

基金項(xiàng)目:

國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目（50271053,50371067）,國(guó)家自然科學(xué)基金委重大國(guó)際合作項(xiàng)目（50420130033）,科技部“973”重大基礎(chǔ)研究計(jì)劃項(xiàng)目（2004CB619302）以及教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃項(xiàng)（NCET-04-0934）的共同支持


Structure and Properties of Ti-Si-N Nanocomposite Films Prepared by Pulsed-DC Plasma Enhanced CVD
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
    • |
  • 圖/表
    • |
  • 訪問(wèn)統(tǒng)計(jì)
    • |
  • 參考文獻(xiàn)
    • |
  • 相似文獻(xiàn)
    • |
  • 引證文獻(xiàn)
    • |
  • 資源附件
    • |
  • 文章評(píng)論
    摘要:

    用工業(yè)型脈沖直流等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在高速鋼（W18Cr4V）表面沉積了Ti-Si-N復(fù)合薄膜，研究了Ti-Si-N復(fù)合薄膜的微觀組織和力學(xué)性能。結(jié)果顯示，薄膜相結(jié)構(gòu)為納米晶TiN和納米晶或非晶TiSi2以及非晶相Si3N4。在Si含量為5．0at％-28．0at％范圍內(nèi)，薄膜的晶粒尺寸逐漸變大；Ti-Si-N薄膜的顯微硬度相對(duì)于TiN有明顯增加，最高硬度可達(dá)40GPa：高溫退火后，Ti-Si-N納米復(fù)合薄膜的顯微硬度與晶粒尺寸在800℃高溫下仍然保持穩(wěn)定。

    Abstract:

    參考文獻(xiàn)
    相似文獻(xiàn)
    引證文獻(xiàn)
引用本文

牛新平 馬大衍 馬勝利 徐可為. Ti-Si-N納米復(fù)合薄膜的結(jié)構(gòu)與性能[J].稀有金屬材料與工程,2005,34(11):1751~1753.[Niu Xinping, Ma Dayan, Ma Shengli, Xu Kewei. Structure and Properties of Ti-Si-N Nanocomposite Films Prepared by Pulsed-DC Plasma Enhanced CVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(11):1751~1753.]
DOI：[doi]

復(fù)制
文章指標(biāo)
  • 點(diǎn)擊次數(shù):
  • 下載次數(shù):
  • HTML閱讀次數(shù):
  • 引用次數(shù):
歷史
  • 收稿日期:2003-12-10
  • 最后修改日期:2005-06-03
  • 錄用日期:
  • 在線發(fā)布日期:
  • 出版日期: