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CVD Al2O3-SiO2系氧化物及其機(jī)理分析
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TQ174.1

基金項(xiàng)目:

航空基礎(chǔ)科學(xué)基金項(xiàng)目(99G53081)


CVD Al2O3-SiO2 Compound and the Mechanism Investigation
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    摘要:

    研究了AlCl3-SiCl4-H2-CO2氣相系統(tǒng)不同溫度化學(xué)氣相沉積Al2O3-SiO2系氧化物相組成及顯微結(jié)構(gòu)，分析了化學(xué)氣相沉積過程機(jī)理。結(jié)果表明，CVD過程不能實(shí)現(xiàn)Al-Si化合物的均勻混合，不同溫度沉積產(chǎn)物為不同變體Al2O3結(jié)合非晶SiO2或其固溶體復(fù)合氧化物，1050℃以下，隨沉積溫度提高，沉積物顆粒尺寸減小，1050℃可沉積出晶化較為完全的莫來石結(jié)合α—Al2O3，t—Al2O3和非晶SiO2致密涂層。

    Abstract:

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引用本文

陳照峰,張立同,成來飛,徐永東,金志浩. CVD Al2O3-SiO2系氧化物及其機(jī)理分析[J].稀有金屬材料與工程,2004,33(6):609~611.[Chen Zhaofeng, Zhang Litong, Cheng Laifei, Xu Yongdong, Jin Zhihao. CVD Al2O3-SiO2 Compound and the Mechanism Investigation[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2004,33(6):609~611.]
DOI：[doi]

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  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2002-12-04
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