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氮化硅陶瓷刀具表面涂覆高硬耐磨氮化鈦涂層研究
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TB43

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Study on the Preparation of Hard and Wear-resistant Titanium Nitride Films on Silicon Nitride Ceramic Cutting Tools
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    摘要:

    用高能量密度脈沖等離子體于室溫下在氮化硅陶瓷刀具上成功沉積了高硬耐磨的氮化鈦涂層。薄膜厚度用光學(xué)顯微鏡和俄歇電子能譜儀測定，薄膜元素和相組成與分布分別用俄歇電子能譜儀、X光電子能譜以及X光衍射儀測定，薄膜微觀結(jié)構(gòu)用掃描電鏡觀察，薄膜表面粗糙度用光學(xué)顯微鏡測定，薄膜力學(xué)性能由納米壓痕實(shí)驗(yàn)和納米劃痕實(shí)驗(yàn)確定，薄膜的磨損性能用上業(yè)條件下的切削實(shí)驗(yàn)評價(jià)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在最優(yōu)化條件下，涂層與基體的結(jié)合力很好，納米劃痕實(shí)驗(yàn)臨界載荷達(dá)80mN以上；氮化鈦涂層具有很高的硬度和楊氏模量，分別達(dá)28GPa和350GPa以上。涂層刀具用于HB達(dá)2200MPa—2300MPa的HT250鋼切削實(shí)驗(yàn)表明，刀具耐磨損能力增強(qiáng)，壽命明顯提高。

    Abstract:

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引用本文

彭志堅(jiān) 苗赫濯 齊龍浩 龔江宏 楊思澤 劉赤子.氮化硅陶瓷刀具表面涂覆高硬耐磨氮化鈦涂層研究[J].稀有金屬材料與工程,2004,33(5):507~511.[Peng Zhijian, Miao Hezhuo, Qi Longhao, Gong Jianghong. Study on the Preparation of Hard and Wear-resistant Titanium Nitride Films on Silicon Nitride Ceramic Cutting Tools[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2004,33(5):507~511.]
DOI：[doi]

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  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2002-10-18
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