最新色国产精品精品视频,中文字幕日韩一区二区不卡,亚洲有码转帖,夜夜躁日日躁狠狠久久av,中国凸偷窥xxxx自由视频

+高級檢索
雙靶濺射法制作SmS光學(xué)薄膜
DOI:
作者:
作者單位:

作者簡介:

通訊作者:

中圖分類號:

O484.41

基金項目:


Deposition of SmS Optical Thin Films by Double-Target Sputtering
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
    • |
  • 圖/表
    • |
  • 訪問統(tǒng)計
    • |
  • 參考文獻
    • |
  • 相似文獻
    • |
  • 引證文獻
    • |
  • 資源附件
    • |
  • 文章評論
    摘要:

    以Sm和Sm2S3為靶材，采用雙靶子濺射系統(tǒng)，于單晶Si基板上成功制作了S-SmS和M-SmS微晶薄膜，并采用XRD，AFM和RBS及光學(xué)性能測定等測試手段對薄膜進行了分析測試。結(jié)果表明：基板溫度低于200℃的情況下；或者在基板溫度為400℃，薄膜組成中Sm過量的條件下均可以直接獲得在常溫常壓下穩(wěn)定存在的M-SmS微晶薄膜。S-SmS和M-SmS微晶薄膜表現(xiàn)出明顯不同的光學(xué)特性。

    Abstract:

    參考文獻
    相似文獻
    引證文獻
引用本文

黃劍鋒 曹麗云.雙靶濺射法制作SmS光學(xué)薄膜[J].稀有金屬材料與工程,2004,33(3):333~336.[Huang Jianfeng, Cao Liyun. Deposition of SmS Optical Thin Films by Double-Target Sputtering[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2004,33(3):333~336.]
DOI：[doi]

復(fù)制
文章指標
  • 點擊次數(shù):
  • 下載次數(shù):
  • HTML閱讀次數(shù):
  • 引用次數(shù):
歷史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:2002-08-20
  • 錄用日期:
  • 在線發(fā)布日期:
  • 出版日期: