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三元合金靶擇優(yōu)濺射穩(wěn)定態(tài)的表面化學成分
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TG174.4

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安徽省教育廳自然科學基金資助(2003kj099)


Surface Composition Changes of Ternary Alloys in Steady State of Preferential Sputtering
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    基于多元素靶濺射的Andersen-Sigmund關系式,在分析了大量的二、三元素合金濺射穩(wěn)定態(tài)靶表面化學成分的變化之后,發(fā)現(xiàn)各元素之間表面結(jié)合能之比幾乎與靶體化學成分無關。只要給各元素之間設定適當?shù)谋砻娼Y(jié)合能比,就可以很容易地計算出三元合金靶穩(wěn)定態(tài)表面化學成分,至少對于用2keV氬離子轟擊的Ag-Pd-Au三元合金靶系來說,其計算結(jié)果都與實驗值一致。所分析的實驗數(shù)據(jù)是在常溫下取得的,所以可不考慮離子轟擊誘發(fā)的Gibbs偏析,其結(jié)論很可能是多元合金靶濺射的一般規(guī)律。此外,由Gaidikas等最近所提出的所謂擇優(yōu)濺射中的“基體效應”理論是無實驗依據(jù)的。

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引用本文

張竹林 張萊.三元合金靶擇優(yōu)濺射穩(wěn)定態(tài)的表面化學成分[J].稀有金屬材料與工程,2004,33(3):242~245.[Zhang Zhulin, Zhang Lai. Surface Composition Changes of Ternary Alloys in Steady State of Preferential Sputtering[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2004,33(3):242~245.]
DOI:[doi]

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  • 最后修改日期:2003-01-27
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