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在 SPF-430H 濺射系統(tǒng)上采用不加偏壓的射頻磁控濺射法制備了 TbCo 非晶垂直磁化膜, 并就 Cr 底層對 TbCo 非晶垂直磁化膜磁性能的影響進行了研究。結(jié)果表明,Cr 底層的存在能夠增強 TbCo 非晶垂直磁化膜的磁各向異性,并使得其矯頑力增加。分別采用 VTBH-1 型高感度振動樣品磁強計和 MTL-1 磁轉(zhuǎn)矩系統(tǒng)測量了 TbCo薄膜的磁滯回線和磁轉(zhuǎn)矩曲線。結(jié)果發(fā)現(xiàn),厚度為 120 nm,并帶有 180 nm 厚度 Cr 底層的 Tb31C69 薄膜的矯頑力和磁各向異性能分別高達 51.2×104 A/m 和 0.457 J/cm3;沒有帶 Cr 底層的同樣厚度的 Tb31C69 薄膜的矯頑力和磁各向異性能分別只有 35.2×104 A/m 和 0.324 J/cm3。Hitachi X-650 型掃描電鏡的觀測結(jié)果表明,帶有 Cr 底層的TbCo 薄膜具有柱狀結(jié)構(gòu),這一柱狀結(jié)構(gòu)導(dǎo)致了磁各向異性能的增強以及矯頑力的提高。