摘要:在有害可燃?xì)怏w應(yīng)用中,應(yīng)優(yōu)先考慮其檢測。對天然氣工業(yè),主要要檢測的是甲烷。檢測可燃?xì)怏w的一種常用方法是Pellistor傳感技術(shù)。Pellistor可檢測氣體在燃燒中的溫度升高。專用的Pellistor結(jié)構(gòu)有一根細(xì)Pt絲線圈埋在難熔板下,板上承載有催化劑(通常為Pd)。Pt絲加熱催化劑使其到工作溫度,當(dāng)催化劑燃燒時,催化劑溫度上升,其電阻的變化使Pt絲可檢測到過熱情況。然而,因Pt絲很細(xì)(10μm～50μm)的Pellistors易損壞,且裝置的耗能高(120mW～150mW),所以不得不特殊制作。近來制作的微機(jī)械“熱板”二維靈敏感結(jié)構(gòu),其板上有SiO2或SiN受蝕薄層,層…