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用熔融織構(gòu)靶制備的YBa2Cu3O7—δ超導(dǎo)薄膜的微觀組織結(jié)構(gòu)
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TM26

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國家自然科學(xué)基金資助(59832050)


Microstructure of YBa2Cu3O7-
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    摘要:

    用脈沖激光蒸發(fā)熔融織構(gòu)靶材在SrTiO3(001)單晶基片上制備了YBa2Cu3O7—δ超導(dǎo)薄膜。用X—射線衍射儀、透射電鏡和原子力顯微鏡分別對薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和表面形貌進(jìn)行了分析。結(jié)果表明，薄膜呈c軸取向，薄膜中產(chǎn)生了一定數(shù)量的顆粒狀Y203雜相，且具有擇優(yōu)取向，而靶材中所含的Y2BaCuO8相卻沒有在薄膜中形成，沉積溫度升高，有利于[001]取向的Y2O3的形成，但不利于[111]取向Y2O3的形成，與傳統(tǒng)的粉末燒結(jié)靶相比，用熔融織構(gòu)靶制備YBa2Cu3O7—δ薄膜可以明顯抑制薄膜表面顆粒的形成。

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引用本文

王天生 田永君 彭煒 胡文斐 李林.用熔融織構(gòu)靶制備的YBa2Cu3O7—δ超導(dǎo)薄膜的微觀組織結(jié)構(gòu)[J].稀有金屬材料與工程,2003,(4):301~304.[. Microstructure of YBa2Cu3O7-[J]. Rare Metal Materials and Engineering,2003,(4):301~304.]
DOI：[doi]

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  • 最后修改日期:2002-08-23
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