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金屬硅化物的應用與發(fā)展
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O614

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Development and Applications of Metal Silicides
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    摘要:

    回顧了金屬硅化物在電熱元件、高溫抗氧化涂層以及集成電路電極薄膜等功能元器件方面的應用、存在的問題和改進的措施，并介紹了高溫結(jié)構(gòu)材料的應用研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢

    Abstract:

    The present status of metal silicides for use as heating elements, high temperature oxidation resistant coatings as well as thin films for largescale integrated circuit applications are reviewed. Some applications problems and solutions to them are discussed. Research and development of the metal silicides as a new type of high temperature structural materials are also overviewed.

    參考文獻
    相似文獻
    引證文獻
引用本文

馬勤 康沫狂.金屬硅化物的應用與發(fā)展[J].稀有金屬材料與工程,1999,(1):10~13.[Ma Qin, Yan Bingjun, Kang Mokuang, Yang Yanqing Gansu University of Technology, Lanzhou ). Development and Applications of Metal Silicides[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1999,(1):10~13.]
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