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制備納米級(jí)材料的一體化工藝
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TB383

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    摘要:

    制備納米級(jí)材料的一體化工藝開(kāi)發(fā)原子尺度內(nèi)的先進(jìn)材料，需要極凈的工作環(huán)境，并在極凈的基片上將原子一個(gè)挨一個(gè)地堆積起來(lái)。這包括許多過(guò)程，如基片清洗、沉積、腐蝕、表面分析、試驗(yàn)等等。由于與每一操作過(guò)程相應(yīng)的儀器設(shè)備都有其自身獨(dú)特的操作要求，而且人們不可能將...

    Abstract:

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引用本文

.制備納米級(jí)材料的一體化工藝[J].稀有金屬材料與工程,1997,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1997,(6).]
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