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納米級(jí)鉑材的生產(chǎn)技術(shù)
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    摘要:

    當(dāng)前微電子元件裝置和計(jì)算機(jī)部件都正朝小型化發(fā)展,并已降低到亞微米級(jí)尺寸。根據(jù)這種情況,特別需要納米級(jí)的金屬材料,為此美國(guó)華盛頓洲海軍研究試驗(yàn)室研究出通過(guò)熱分解非晶硅基體表面上的四-(三氟化磷化氫)-Pt初級(jí)粒子方法生產(chǎn)出<20 nm厚、700 nm

    Abstract:

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引用本文

.納米級(jí)鉑材的生產(chǎn)技術(shù)[J].稀有金屬材料與工程,1993,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1993,(6).]
DOI：[doi]

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