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薄膜應(yīng)力和點(diǎn)陣常數(shù)同時測定的S-B聚焦Guinier相機(jī)
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S-B Focusing Guinier Camera for Concurrent Determing Film Stress and Lattice Constant
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    摘要:

    敘述了Seemann-Bohlin聚焦Guinier薄膜相機(jī)(S-B相機(jī))的衍射幾何及應(yīng)用這種相機(jī)同時測定薄膜應(yīng)力和點(diǎn)陣參數(shù)的基本原理。給出了制作S-B相機(jī)的設(shè)計圖。以Nb_3Ge超導(dǎo)薄膜樣品為例,具體說明了使用S-B相機(jī)同時測定薄膜應(yīng)力和點(diǎn)陣參數(shù)的方法和步驟。

    Abstract:

    Diffraction geometry of Seemann-Bohlin focusing Guinier film camera and the general principle of determing film stress and lattice constant simutaneously by this camera are described. Its design chart is also given. Taking Nb3Ge superconducting film sample for example, the paper has illustrated the determination procedure in details.

    參考文獻(xiàn)
    相似文獻(xiàn)
    引證文獻(xiàn)
引用本文

王超群.薄膜應(yīng)力和點(diǎn)陣常數(shù)同時測定的S-B聚焦Guinier相機(jī)[J].稀有金屬材料與工程,1992,(6).[Wang Chaoqun. S-B Focusing Guinier Camera for Concurrent Determing Film Stress and Lattice Constant[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1992,(6).]
DOI：[doi]

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