TG174.44
本文概述了離子鍍鋁設(shè)備的簡單結(jié)構(gòu)和工作原理,以及沉積室氬氣壓力、基體溫度、沉積速度和基體負(fù)偏壓工藝參數(shù)對(duì)鋁膜組織的影響。最后列舉了一些離子鍍鋁在飛機(jī)制造工業(yè)中和其它方面的應(yīng)用。
于家斗.離子鍍鋁[J].稀有金屬材料與工程,1990,(3).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1990,(3).]DOI:[doi]
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