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磁控濺射鍍鈦的研究
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TG174.44

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    摘要:

    在低碳鋼板表面進(jìn)行磁控濺射鍍鈦,800℃1小時(shí)得到20μm厚純鈦層。鍍層附著牢固,耐蝕性良好。對(duì)鍍鈦后的試樣用X射線衍射儀、電鏡等所作分析表明:鍍層為六方結(jié)構(gòu)的α純鈦,同基體間界限分明,沒(méi)有擴(kuò)散發(fā)生,但結(jié)合緊密,未觀察到孔洞。濺射后的試樣在真空中于900℃保持2小時(shí),則基體中部分鐵原子及大量碳原子向鍍層擴(kuò)散,而鍍層中的鈦也向基體擴(kuò)散,形成漸變的成份梯度,同時(shí)在鍍層中測(cè)到少量Ti-Feβ相的體心立方結(jié)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)表明,磁控濺射是在鋼表面得到高質(zhì)量鈦層的一種有效方法。

    Abstract:

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引用本文

鄧永瑞 周熔.磁控濺射鍍鈦的研究[J].稀有金屬材料與工程,1989,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1989,(6).]
DOI:[doi]

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