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化學(xué)氣相沉積涂層新技術(shù)和應(yīng)用
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    摘要:

    目前,化學(xué)氣相沉積(CVD)涂層除用于切削工具以外,還用作許多功能性涂層,例如耐磨和耐腐蝕涂層、金剛石膜、有色超硬鍍層,核聚變爐內(nèi)壁保護膜、透明陶瓷膜、非晶膜、超導(dǎo)膜等。CVD設(shè)備一般由氣體導(dǎo)入系統(tǒng)、反應(yīng)

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引用本文

唐華生.化學(xué)氣相沉積涂層新技術(shù)和應(yīng)用[J].稀有金屬材料與工程,1988,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1988,(6).]
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