目前,化學(xué)氣相沉積(CVD)涂層除用于切削工具以外,還用作許多功能性涂層,例如耐磨和耐腐蝕涂層、金剛石膜、有色超硬鍍層,核聚變爐內(nèi)壁保護膜、透明陶瓷膜、非晶膜、超導(dǎo)膜等。CVD設(shè)備一般由氣體導(dǎo)入系統(tǒng)、反應(yīng)
唐華生.化學(xué)氣相沉積涂層新技術(shù)和應(yīng)用[J].稀有金屬材料與工程,1988,(6).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1988,(6).]DOI:[doi]
總訪問量
地址:西安市未央?yún)^(qū)未央路96號 郵政編碼:710016 聯(lián)系電話:029-86231117
E-mail:rmme@c-nin.com; rmme0626@aliyun.com
版權(quán)所有:稀有金屬材料與工程 ® 2025 版權(quán)所有 技術(shù)支持:北京勤云科技發(fā)展有限公司 ICP:陜ICP備05006818號-3