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含錸鉬片的退火性能
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    具有低電阻率的柵極和連接材料的研究巳成為加快大型積成電路(LSI)技術(shù)進(jìn)展的基礎(chǔ)。難熔金屬如Mo和W的深入研究產(chǎn)生了微型和高速儀器的制造技術(shù)。這些具有細(xì)顆粒的金屬可制造高質(zhì)量的儀

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引用本文

Keiichiro,劉沙,趙連仲.含錸鉬片的退火性能[J].稀有金屬材料與工程,1984,(3).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1984,(3).]
DOI：[doi]

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