離子濺射技術(shù)作為一種涂層工藝方法,特別適合沉積潤滑涂層、耐磨涂層、太陽能選擇吸收涂層和非晶態(tài)抗腐蝕涂層;此外,還能沉積薄板,箔和管等非標(biāo)準(zhǔn)件及優(yōu)質(zhì)超導(dǎo)材料,在工業(yè)上已獲得了越來越廣泛的應(yīng)用。
龍克昌.離子濺射技術(shù)在涂層工藝中的應(yīng)用[J].稀有金屬材料與工程,1984,(3).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1984,(3).]DOI:[doi]
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