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用氯化法汽相沉積碳化鋯—碳的復(fù)合物
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    在碳化鋯—碳的復(fù)合物的沉積中,檢驗了海綿鋯同(a)二氯甲烷和(b)氯氣的反應(yīng)條件。在引用二氯甲烷法時必須有氫氣存在。在氯化法中,沉積物是從海綿鋯和氯氣或碳氫化物的反應(yīng)連續(xù)產(chǎn)生出的四氯化鋯中得到的,在該研究中使用了甲烷。在1000℃以上兩種方法都發(fā)生復(fù)合物的大量沉積。在此還簡單地討論了沉積的機理。

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引用本文

克·艾卡沃,李振賀.用氯化法汽相沉積碳化鋯—碳的復(fù)合物[J].稀有金屬材料與工程,1975,(1).[.[J]. Rare Metal Materials and Engineering,1975,(1).]
DOI:[doi]

復(fù)制
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