摘要:利用紅外光譜法對(duì)四氯化鈦(TiCl_4)中的氧碳雜質(zhì)含量進(jìn)行檢測(cè),并成功將該檢測(cè)方法應(yīng)用于精TiCl_4的在線檢測(cè)中。在線檢測(cè)系統(tǒng)樣品池由2個(gè)腔體串聯(lián)組成,光程分別是10 mm和40 mm,其中10 mm光程用于檢測(cè)CCl_4含量,40 mm光程用于檢測(cè)COS、COCl_2、CS_2、C_6Cl_6、Si_2OCl_6、TiOCl_2、SO_2Cl_2、SOCl_2、VOCl_3、CCl_3COCl等化合物含量。樣品池采用純鈦材質(zhì),窗片采用ZnSn材質(zhì),均具有較強(qiáng)的耐腐蝕性。實(shí)踐證明,該在線檢測(cè)技術(shù)有效解決了精TiCl_4檢測(cè)過(guò)程中接觸空氣水解的難題,使精TiCl_4中氧碳雜質(zhì)檢測(cè)更加準(zhǔn)確。