摘要:金屬基體材料表面硬質(zhì)膜層在服役過(guò)程中,殘余應(yīng)力在膜基界面以及膜層內(nèi)部界面之間的積聚會(huì)導(dǎo)致膜層發(fā)生界面剝落失效。以TC4鈦合金基體表面Ti/TiN多層復(fù)合膜層為研究對(duì)象,探討真空退火對(duì)復(fù)合膜層結(jié)構(gòu)及性能的影響,并表征退火前后復(fù)合膜層的界面劃痕失效以及抗粒子沖蝕性能。結(jié)果表明,真空退火促進(jìn)了膜層內(nèi)部以及膜基界面兩側(cè)原子的熱擴(kuò)散,使得界面結(jié)構(gòu)特征明顯弱化。界面狀態(tài)的改變使得復(fù)合膜層的表面顯微硬度降低以及膜基結(jié)合強(qiáng)度提高。在劃痕載荷作用下,復(fù)合膜層抵抗裂紋沿界面擴(kuò)展的能力得到增強(qiáng)。真空退火有助于提高膜層的強(qiáng)韌性匹配,可有效抵抗小角度沖蝕粒子的犁削以及大角度粒子沖蝕下的疲勞,因此Ti/TiN多層復(fù)合膜層表現(xiàn)出較好的抗沖蝕性能。