摘要:在各種工具上涂覆耐磨和耐蝕薄膜的實(shí)踐中,用離子-等離子濺射復(fù)合陰極(靶)工藝制取的多組分和多相涂層正得到愈來愈多應(yīng)用。自蔓延高溫合成(CBC)法可獲得形形色色的陶瓷基、金屬陶瓷基和金屬間化合物基陰極譜。陶瓷陰極的一個(gè)本質(zhì)缺陷是其導(dǎo)熱性低,從而導(dǎo)致陰極材料過熱和分層、形成不穩(wěn)定的等離子,結(jié)果使噴涂工藝過程的生產(chǎn)率下降. 為克服上述缺點(diǎn),曾試圖合成具有較高熱強(qiáng)度的功能梯度陰極靶(M).這些陰極的外工作層可由TiCα基、TiB基等陶瓷組成,而內(nèi)層則可由金屬如Ti組成.莫斯科鋼鐵和合金學(xué)院CBC學(xué)術(shù)與教…