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高純度鈦
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TG146.2

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    日本一家公司制成了一種純度為99.9999%的高純鈦.利用這種高純度鈦可以制造半導(dǎo)體基板上的氮化鈦薄膜,使用這種氮化鈦薄膜可以避免因硅銅基板上的雜質(zhì)

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引用本文

.高純度鈦[J].鈦工業(yè)進展,1994,11(5).

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